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    SWS320-全自动晶圆检查机/分选机/倒片机

    8”-12”晶圆适用
    可处理薄晶圆
    可选晶圆料篮、料盒等方式装卸料
    晶圆分选功能
    晶圆倒片功能
    视觉检查功能
    显微镜检查功能
    平台模块化设计
    工控机+Windows系统
    SECS/GEM 或简易联网能力
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