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    • UIS29L/UIS29TL-紫外线照射机

    4”-8”/8”-12”晶圆适用
    手动晶圆装卸料
    365纳米波长紫外LED颗粒阵列
    照射时间可控
    可选嵌入式紫外线能量传感器
    高强度紫外线能量输出
    长寿命LED颗粒
    基于PLC 的程序控制
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