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    NLW110-全自动晶圆真空覆膜机

    4”-8”晶圆适用
    可处理薄晶圆
    晶圆料篮装卸料
    贝努利晶圆搬运技术
    真空覆膜技术
    可选高温覆膜
    双层隔离纸收卷能力
    蓝膜、紫外线胶膜、光刻膜、背封膜等可选
    晶圆智能料篮内测绘
    非接触晶圆校正
    工控机+Windows系统
    SECS/GEM 或简易联网能力
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